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薄膜分析
  X射線衍射對于研究外延層和其他薄膜材料具有特殊價值。采用精密的晶格參數的測量方法,可以很準确的确定晶格的外延層及其基底。在外延器件中晶格參數匹配或不匹配是一個重要因素如磁泡存儲器的磁性石榴石薄膜,LED用摻雜砷化镓薄膜和高速晶體管和其他重要的電子産品。對于薄膜X射線衍射的另一個應用是使用高溫衍射通過測定晶格參數随溫度的變化來确定熱膨脹系數。